チップ生産の環境要件は何ですか？

1.クリーンルーム環境は、LED生産に不可欠です。チップ製造プロセスは異物粒子に非常に敏感であるため、小さなダスト粒子でさえ、チップを短絡させるか、その性能を低下させる可能性があります。一般に、Chip製造プラントは、クラス100 - 1000清潔さの基準を満たす必要があります。つまり、0よりも大きい粒子の数は、1立方メートルの空気あたり5μmよりも多くの範囲内で制御する必要があります。このような環境では、スタッフは特別なきれいな作業服を着て、エアシャワーなどの機器を介してワークショップに参加して、ほこりを持ち込む可能性を最小限に抑える必要があります。

2。温度と湿度の制御も重要です。チップエピタキシャルの成長と包装中、温度と湿度の小さな変化は、材料の特性とプロセスの安定性に影響を与える可能性があります。たとえば、MOCVDエピタキシャルの成長中、反応チャンバーの温度は通常、摂氏数百度から1000度以上の間で正確に制御する必要があり、湿度を低く抑える必要があります。